WebModel No. FCS. Inline clean filter with hollow fiber membrane for filter element provides high performance in all aspects including filtration performance, flow rate, pressure loss, … WebFINE series PURE® FCS®サーマルシリーズ FCST2000. 製品仕様 ※詳しくはカタログをご参照ください。. 型式. FCST1005 (M)ZF/TM1005 (M)ZF. FCST1005 (M)ZD (DeviceNetTM)/TM1005 (M)ZD. 流量レンジ (N2換算流量) Bin 1：10SCCM～30SCCM. Bin 2：31SCCM～100SCCM. Bin 3：101SCCM～300SCCM.
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